上海申弘閥門有限公司
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真空設備展覽
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在真空系統(tǒng)中，用來改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件稱為真空閥門。上海申弘閥門有限公司主營閥門有：截止閥,電動截止閥,氣動截止閥,電動蝶閥,氣動蝶閥,電動球閥,氣動球閥,電動閘閥,氣動閘閥,電動調(diào)節(jié)閥,氣動調(diào)節(jié)閥，減壓閥。水力控制閥、真空閥門、襯膠閥門、襯氟閥門。
真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用是：
(1)開關氣路 如圖1所示，當閥1和閥4關閉，閥2打開時，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經(jīng)預真空抽氣管路；當閥2關閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真 空；當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經(jīng)擴散泵?？梢?，閥門在這種操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經(jīng) 路線。
(2)控制氣流大小，調(diào)節(jié)真空度在圖1中，調(diào)節(jié)閥1的閥蓋開啟角度，即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大?。魂P閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。
(3)定量充氣如圖2所示，在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體；當它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。
真空閥門的種類繁多，通常按閥門的職能、結(jié)構(gòu)型式、驅(qū)動方式、材料和用途進行分類，其分類見表1。
真空閥門的型號編制方法國家專業(yè)標準作了規(guī)定，可查閱有關標準。
1. 真空獲得設備；旋片真空泵、油擴散泵、羅茨真空泵、油增壓泵、渦輪分子泵、鈦升華泵；
2. 真空應用設備：各種真空冶金設備與熱處理設備、真空電鍍設備、真空包裝設備等；
3. 真空鍍膜設備：包括各種靶、靶材、消耗材料及各種電源；真空鍍膜加工
4. 納米科技與裝備、納米材料與納米器件
5. 真空閥門及真空零部件：包括各種真空電子元器件、真空系統(tǒng)附件及真空動、靜密封器件等；
6. 真空測量與校準儀器、儀表及真空檢漏儀器；
7. 真空材料、真空泵油及真空工程配套設備；
8. 各種表面儀器（AES、SEM、XPS、SIMS等）及分子束外延設備（MBE）
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